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超聲掃描顯微鏡其檢測(cè)原理(SAM)：由超聲波換能器產(chǎn)生的高頻率的超聲波，通過(guò)耦合介質(zhì)（如去離子水、酒精，硅油）到達(dá)樣品。由于超聲能量的傳遞要求介質(zhì)是連續(xù)的，所以如氣孔、雜質(zhì)、分層、裂紋等不連續(xù)界面都會(huì)影響超聲信號(hào)傳播，信號(hào)會(huì)發(fā)生反射或折射。當(dāng)超聲波通過(guò)樣品的時(shí)候，由于聲阻的不同，在有缺陷或粘結(jié)不良的界面會(huì)出現(xiàn)反射波，通過(guò)超聲波換能器的掃描軸，可以對(duì)待測(cè)品進(jìn)行高速準(zhǔn)確掃描，得到一幅圖像（通過(guò)不同的超聲掃描的方式可以得到不同圖像）。可以從樣品選定的深度和平面中或從粘結(jié)界面檢測(cè)到分層的界面或者缺陷。
半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測(cè)：
測(cè)量能力 | 能力描述 |
標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差 | 測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。 |
工件測(cè)量誤差 | 選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件，采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測(cè)，三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。 |
厚度測(cè)量范圍 | Epoxy材料： Cu材料： 0.5 ~ 2mm（50MHz探頭） 0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭） 1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭） 1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭） 注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
缺陷識(shí)別能力 | 在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。 |
金剛石測(cè)厚及內(nèi)部缺陷檢測(cè)：
測(cè)量能力 | 能力描述 |
標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差 | 測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。 |
工件測(cè)量誤差 | 超聲檢測(cè)和影像儀檢測(cè)對(duì)比 等距取10個(gè)以上檢測(cè)點(diǎn)，90%點(diǎn)的誤差在±0.05mm內(nèi)。 超聲檢測(cè)重復(fù)測(cè)量 取10個(gè)檢測(cè)點(diǎn)，重復(fù)測(cè)量3次，90%點(diǎn)的誤差在±0.05mm內(nèi)。 |
厚度測(cè)量范圍 | 復(fù)合片 金剛石材料： 硬質(zhì)合金材料： 0.3 ~ 3mm（50MHz-75MHz探頭）； 0.8 ~ 6mm（50MHz-75Mhz探頭） 石油片 金剛石材料： 0.3 ~ 3mm（50MHz探頭） 注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
缺陷識(shí)別能力 | 在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（50MHz探頭）。 |
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