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超聲掃描顯微鏡其檢測原理(SAM):由超聲波換能器產(chǎn)生的高頻率的超聲波,通過耦合介質(zhì)(如去離子水、酒精,硅油)到達(dá)樣品。由于超聲能量的傳遞要求介質(zhì)是連續(xù)的,所以如氣孔、雜質(zhì)、分層、裂紋等不連續(xù)界面都會影響超聲信號傳播,信號會發(fā)生反射或折射。當(dāng)超聲波通過樣品的時候,由于聲阻的不同,在有缺陷或粘結(jié)不良的界面會出現(xiàn)反射波,通過超聲波換能器的掃描軸,可以對待測品進(jìn)行高速準(zhǔn)確掃描,得到一幅圖像(通過不同的超聲掃描的方式可以得到不同圖像)。可以從樣品選定的深度和平面中或從粘結(jié)界面檢測到分層的界面或者缺陷。
半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測:
測量能力 | 能力描述 |
標(biāo)準(zhǔn)塊測量誤差 | 測量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊,在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。 |
工件測量誤差 | 選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一處方且檢測量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測,三次檢測結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。 |
厚度測量范圍 | Epoxy材料: Cu材料: 0.5 ~ 2mm(50MHz探頭) 0.5 ~ 1.4mm(25MHz探頭) 1.0 ~ 4.0mm(15MHz探頭) 1.2 ~ 3.7mm(15MHz探頭) 注:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
缺陷識別能力 | 在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi),被測材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識別能力為0.15毫米(15MHz、25MHz探頭)和0.07毫米(50MHz探頭)。 |
金剛石測厚及內(nèi)部缺陷檢測:
測量能力 | 能力描述 |
標(biāo)準(zhǔn)塊測量誤差 | 測量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊,在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。 |
工件測量誤差 | 超聲檢測和影像儀檢測對比 等距取10個以上檢測點,90%點的誤差在±0.05mm內(nèi)。 超聲檢測重復(fù)測量 取10個檢測點,重復(fù)測量3次,90%點的誤差在±0.05mm內(nèi)。 |
厚度測量范圍 | 復(fù)合片 金剛石材料: 硬質(zhì)合金材料: 0.3 ~ 3mm(50MHz-75MHz探頭); 0.8 ~ 6mm(50MHz-75Mhz探頭) 石油片 金剛石材料: 0.3 ~ 3mm(50MHz探頭) 注:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
缺陷識別能力 | 在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi),被測材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識別能力為0.15毫米(50MHz探頭)。 |